3.0.1 干净室及干净区内空气中悬浮粒子空气干净度等级应切合下列划定:
1 干净室及干净区空气干净度整数等级应按表3.0.1 确定。
表3.0.1 干净室及干净区空气干净度整数等级

注:按分歧的丈量步骤,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
2 各类要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式推算:
式中:Cn——大于或蹬宗要求粒径的最大浓度限值(pc/m?)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;
N—空气干净度等级,数字不超过9,干净度等级整数之间的中央数能够按0.1为最幼允许递增量;
D—要求的粒径(μm);
0.1—常数,其量纲为μm。
3 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与幼者之比不得幼于1.5倍。
4 空气干净度等级的粒径领域应为0.1μm~0.5μm,超出粒径领域时可选取U描述符或M描述符补充注明。
3.0.2 空气干净度等级所处状态蕴含空态、静态、动态,空气干净度等级所处状态与业主协商确定。
3.0.3 空气干净度的测试步骤应按本规范附录A的要求进行。
3.0.4 当干净室(区)内的产品出产工艺要求节造微生物、化学传染物时,应凭据工艺特点对各空气干净度等级划定相应的微生物、化学传染物浓度限值。

当前地位:



